碳化硅的超细粉碎设备主要有搅拌磨机、气流磨机、振动磨机及球磨机等。传统的球磨机应用较早，设备稳定性好，但效率低，能耗大，增加了分级难度。振动磨机粉碎效果还可以，但其能耗较高，工作时噪音大，细磨碳化硅这样的硬质材料时设备磨损严重，气流磨机生产效率高，生产能力小。